关于CPO,你未必知道的五件事

来源:半导纵横发布时间:2026-11-04 14:07
CPO
技术进展
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CPO下一阶段的竞争,不只是做出性能更好的光器件,而是实现更优的集成方案。

共封装光学(CPO)技术常被称作光子领域的一项突破。但它能否实现商业化成功,很大程度上同样取决于先进封装:光、电元器件如何集成、互连、防护,以及如何稳定大规模量产。人工智能催生了前所未有的算力与数据传输需求。随着处理器性能持续提升,芯片之间传输数据的电互连通道正逐渐成为瓶颈。这类电链路会消耗功耗、产生热量,还会限制AI系统内部的数据传输速度。

共封装光学(CPO)提供了一条新路径。它把光引擎放置在距离处理器和交换机更近的位置,缩短处理器 / 交换机与光引擎之间的高速电信号路径,让数据在离信号源头更近的位置转为光信号传输,目标是实现更高带宽、更低单比特互连功耗以及更低延迟。

但CPO有一个关键点常常被忽略:先进封装方案,决定硅光芯片能否和电路紧密集成,并且在真实系统中稳定工作。

CPO本质上是一项异质集成难题

一套CPO系统,需要整合以往分开设计、制造、封装的各类器件。光子集成电路、电子芯片、互连结构、光纤以及配套支撑结构,必须协同工作,形成一套紧密集成的整体系统。

因此异质集成是CPO的核心。先进封装提供架构方案,把不同类型器件近距离排布在一起,同时保证电学性能、光学对准精度与热稳定性。器件集成得越紧密,数据在转为光信号前走过的电信号路径就越短。

这也意味着,封装不能当成芯片制造完成后额外加上的外壳。封装方案从项目初期就会影响整个系统,决定器件摆放位置、信号走线、供电、散热、可测试性,最终影响成品的可制造性。CPO的性能,取决于封装内部多项技术能否协同工作,而不只是单颗芯片本身的性能。

先进封装把CPO的技术构想变成可量产系统

CPO架构在理论上可以实现亮眼性能,但更难的是,在大批量器件上稳定复现该性能,满足数据中心部署所需的一致性、良率与可靠性。

扇出型晶圆级封装、混合键合、3D堆叠等先进封装技术,为光电器件集成提供了不同路线。扇出方案可以拓展高密度互连可用面积;混合键合与3D堆叠能够进一步拉近器件间距,支撑更短互连、更高带宽密度。

每种方案都对应专属制造要求:晶圆上所有互连结构特性必须均匀;键合界面需要洁净、精密处理;薄晶圆、甚至容易翘曲的晶圆要在加工中避免受损。微小偏差,都可能影响电路通路、光学对准和整体良率。

尽管挑战重重,Yole Group的分析显示,数据中心大规模部署CPO预计将在2028至2030年落地。CPO架构,是那些可以从原理验证,走向稳定、可重复、高效率产线的方案。

器件之间的间隙,重要性不亚于器件本身

在部分3D堆叠、高密度CPO集成方案中,光芯片与电芯片近距离放置或堆叠时,芯片之间会留有微小间隙。这些间隙看似不起眼,却会成为机械应力与热应力的关键集中区域。

芯片间隙填充工艺,就是用来保护这类高密度集成结构。填充材料需要填满纵深大、形状不规则的缝隙,不能留下空洞;并且在后续工艺和温度循环过程中保持稳定,不会引入过大应力,造成晶圆形变。

Lam Research正通过先进沉积与晶圆处理技术应对该难题,适配厚层无空洞介质薄膜以及高翘曲晶圆,保障复杂CPO与3D集成方案所需的结构完整性和工艺可控性。在先进封装领域,可靠性往往取决于高层架构图里看不见的微小缝隙、界面以及材料过渡层。

精度要求覆盖整个封装

CPO需要多维度同时保证精度:光引擎要和电路、光纤接口精准对位;电互连结构一致性要好;光纤要和光学接口对准;键合层保持平整牢固;封装结构还要承受制造与运行过程中的热载荷和机械应力。

这种系统级精度,改变了半导体设备的定位。沉积、刻蚀、清洗、电镀、键合预处理、晶圆边缘管控以及工艺控制,不能是互相独立的工序,而是一套协同配套能力。

举例来说,均匀的铜线路与重布线层,可以在扇出封装内搭建可靠电路;经过精细设计的介质薄膜与铜表面,支撑高质量混合键合;晶圆外形、边缘状态同样需要管控,保障后续工序的对准精度和良率。CPO规模化落地,需要全封装链路的精密制造能力,从晶圆中心到边缘,从单一材料到完整集成结构。

产业链协同制造,决定CPO落地速度

没有任何一家企业或者单一技术,能够独自解决CPO制造难题。CPO生态包含芯片设计公司、晶圆厂、封装厂商、设备商、材料供应商、光纤与连接器厂商、系统厂商以及数据中心运营商。

各方需要协同敲定架构与制造方案。封装选型会影响光学接口;键合方案会改变热预算;可维护性要求会影响光纤、光引擎的安装方式。生态内任一环节的设计选择,都会传导影响整个系统。

Lam的定位,是借助沉积、刻蚀、清洗、电镀、晶圆处理、工艺控制等全套技术,帮助客户把全新CPO和先进封装构想转化为稳定可复现的工艺。目标不只是做出一颗能工作的样品,而是支撑大批量生产所需要的产能和一致性。当设计、封装与工艺同步开发,并且把制造当成底层基础而非收尾步骤时,CPO的规模化推进速度才会最快。

封装定义CPO的未来

CPO兴起,源于AI基础设施需要以更高能效传输海量数据。硅光负责实现光信号功能,而先进封装把这套光功能和高性能电路紧密结合,形成一套可用系统。Yole Group的数据显示,到2031年,共封装光学对应的光子封装市场规模有望接近50亿美元,反映行业持续加码光电器件规模化集成。

因此CPO下一阶段的竞争,不只是做出性能更好的光器件,而是实现更优的集成方案。扇出封装、混合键合、3D堆叠、芯片间隙填充、精密互连以及协同工艺管控,都会共同决定最终产品的性能、良率、可靠性和成本。

对半导体行业而言,结论很清晰:CPO的进步不能只依靠架构设计。它的未来,取决于能否把材料、工艺、封装层面的创新转化为大规模制造能力。而先进封装,正是其中的核心环节。

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