边缘刻蚀机专利之争，两大设备公司对簿公堂

泛林集团与韩国设备商PSK，在一桩边缘刻蚀机专利侵权诉讼中，就核心零部件设计图纸的披露范围产生激烈分歧。法院提出折中方案，将在下一次庭审现场核验PSK零部件原始图纸。

韩国首尔中央地方法院第62民事庭开庭审理泛林集团起诉PSK专利侵权案第五次庭审。泛林于2021年发起诉讼，主张PSK的边缘刻蚀机侵犯自身专利，诉状中要求对方赔偿6亿韩元，并销毁涉案侵权设备；PSK则反诉请求宣告泛林相关专利无效。

边缘刻蚀机用于去除晶圆边缘（斜面区域）附着的不稳定金属、非金属薄膜。PSK已实现该设备韩国本土化，产品供货SK海力士等客户；而此前泛林长期垄断全球边缘刻蚀机市场。泛林旗下Coronus系列等离子边缘刻蚀设备，专门用于清除晶圆斜面边缘残留杂质。

本次庭审争议焦点，集中在PSK设备内部一款核心零部件的实际结构。泛林将该部件命名为气体扩散环（GDR），用于在刻蚀设备内部分配、控制工艺气体，边缘刻蚀机是其典型应用场景。气体扩散环为环形结构，中心留有开孔。泛林持有编号1249247专利（业内简称247号专利），独占该环形结构设计权益；但PSK主张自家对应部件是中心封闭的平板结构，二者结构完全不同。

泛林：零部件名称与图纸足以证明其为环形结构

泛林集团代理律所Kim & Chang表示，PSK提交的30号证据材料中，直接将涉案部件标注为 “GDR”，行业从业者由此可直接判定该零件是环形，而非PSK所称的平板。

泛林法务团队重点指出，零部件剖面图左右两侧均带有倒角。倒角是机械加工工艺，将零件尖锐棱边斜向切削，消除锋利边角。

泛林律师辩称，若该部件真如PSK所言是平板，剖面图应呈现晶圆式完整平面、边角为直角；而图纸两侧清晰倒角，足以证明零件中间向内凹陷，属于环形结构。

泛林同时质疑PSK提交文件中对型号、尺寸等参数做涂黑遮挡处理，称这些被遮蔽信息是判定零件属于环 / 平板的关键依据，因此要求PSK提交无遮挡原始图纸完整披露。

PSK当庭提交设备运行视频举证

PSK代理律所BKL进行反驳，称文件标注 “GDR” 只是一次行业惯例导致的命名失误，产品正式规格书对该部件有不同定名；泛林仅凭一处命名瑕疵，罔顾实物产品形态提出不合理主张。

PSK补充，此前已提交设备实时运行视频作为证据。视频显示，其PRECIA系列边缘刻蚀机不存在对应GDR的下部环形结构，整机采用中心封闭的平板部件，庭审中当庭播放了部分视频画面。PRECIA是PSK旗下边缘刻蚀设备产品线。

针对被遮挡参数，PSK律师表示，与零件外形无关的详细尺寸、规格属于企业商业机密；泛林作为直接竞品，借诉讼之名企图获取竞争对手机密信息。

继第四次庭审之后，PSK再度提议法官前往自家工厂实地查验实物设备；泛林律师拒绝该方案，称PSK有可能在现场展示其他机型，而非涉案PRECIA设备。

法院裁定：当庭核验无遮挡原始图纸

双方僵持不下，法庭提出折中处理方案：既然泛林称原始图纸视图可区分环形与平板结构，要求PSK在下一轮庭审携带未涂黑的原始图纸，在法庭内现场核验。该方案将按照泛林诉求，完整查看图纸可视结构，但图纸不会正式归入案件卷宗留存，避免商业机密被永久存档外泄。

PSK律师申请由法庭先行审阅原图；若仍需进一步核对，仅允许泛林一名代理律师二次查看，泛林方表示同意。

此外，泛林当庭正式撤回针对1468221号专利（221号专利）的侵权主张。该专利此前已被韩国专利法院判定无效，泛林曾向韩国知识产权审判院提起专利权范围更正申请，但该申请于8月3日被驳回。

两家企业这场边缘刻蚀机专利纠纷案的下一次庭审定于9月举行。原图核验结果、双方是否启动司法鉴定，将直接决定案件走向。