华海清科6英寸集成量测装备出货

8月6日，华海清科6英寸集成量测装备正式出机，设备已发往国内光学硅材料龙头企业。该设备是国内首款实现6英寸集成式量测装备与CMP装备一体化集成的产品，性能达到国际先进水平，将补齐国内半导体特色工艺制造环节短板。