台积电今年将引进ASML的High NA EUV光刻机

台积电预计将于今年年底从荷兰供应商 ASML 接收首批全球最先进的芯片制造机器，仅比美国竞争对手英特尔晚几个月。它们被称为高数值孔径极紫外（或高 NA EUV）光刻机，是世界上最昂贵的芯片制造设备，每台价格约为 3.5 亿美元。

台积电、英特尔和韩国三星是全球仅有的三家仍在竞相生产更小、更强大的半导体的芯片制造商，它们都严重依赖 ASML 的工具。

知情人士透露，台积电将于本季度在其位于中国台湾新竹总部附近的研发中心安装新的高NA EUV设备。在新设备投入大规模芯片生产之前，还需要进行大量的研究和工程工作，但消息人士称，该公司并不认为有必要仓促采取行动。

“根据目前的研发结果，目前还不需要使用最新版本的高 NA EUV 机器，但台积电不会排除进行全面探索和工程工作以及使用业内最先进的工具进行试运行的可能性，”一位消息人士表示。“台积电的目标是保留所有选项。”

ASML 在位于荷兰费尔德霍芬的总部设有一个高 NA EUV 光刻工具实验室，供潜在客户测试其机器。

消息人士称，台积电可能只有在推出所谓的 10 埃 (A10) 生产技术后才会考虑使用这些机器进行商业生产，可能在 2030 年之后。A10 技术比台积电计划在 2025 年底投入生产的 2 纳米芯片大约高出两代。目前，其最先进的半导体是 iPhone 16 系列使用的 3 纳米处理器芯片。

纳米测量通常指的是芯片上晶体管的排列密度，纳米数值越小，通常表示产品的功率越强大。

台积电证实，它正在引进新机器，但并未透露有关交付或投入生产时间的任何细节。该公司表示：“台积电会仔细评估新晶体管结构和新工具等技术创新，并在将其投入量产之前考虑其成熟度、成本和对客户的益处。台积电计划首先引进高 NA EUV 扫描仪进行研发，以开发客户所需的相关基础设施和图案化解决方案，从而推动创新。”

与此同时，英特尔几个月前在俄勒冈州的研发中心安装了第一套高 NA EUV 机器，并正在测试它们，为商业生产做准备。第二套 ASML 的 EUV 机器于今年第二季度运往英特尔。英特尔希望加快其生产技术开发，以重新夺回制造业的领导地位，并计划在 2027 年前将新机器投入商业生产。今年和明年，它将一些旗舰 CPU 芯片的生产外包给台积电，以专注于自己的技术。

ASML 是全球唯一一家提供 EUV 光刻机的公司，EUV 光刻机是将半导体结构印制到晶圆上的最先进方法。其标准 EUV 机器用于制造 7 纳米级或更高级的芯片，每台机器售价约为 1.8 亿美元。

据该公司介绍，高NA EUV机器能够在晶圆上打印更小的结构，从而使其能够在与ASML标准EUV机器相同的区域内封装近三倍数量的晶体管。

三星和台积电是 EUV 技术的早期采用者，分别于 2018 年和 2019 年推出该技术。台积电目前严重依赖 ASML 的标准 EUV 机器来制造其用于智能手机、服务器和 AI 应用的最先进芯片。这家芯片制造商此前曾表示，截至 2023 年底，它拥有全球一半以上的 EUV 机器。

英特尔转向 EUV 的速度较慢，而是依赖于较旧的光刻工具。这一决定导致某些 CPU 的生产良率下降，并推迟了英特尔推出新产品的路线图。直到现任首席执行官帕特·基辛格 (Pat Gelsinger) 推翻了这一决定并致力于 EUV 后，该公司才在 2023 年推出了首款采用该技术的 CPU。

英特尔一位高管向日经亚洲表示，EUV 显著提高了生产质量并缩短了周期时间，即从头到尾处理一块晶圆所需的时间。

ASML 透露，其前两套高 NA EUV 机器已发运给英特尔，并确认第三套机器“目前正在发运给第二个主要客户”，但并未透露有关该客户的任何具体信息。 ASML 表示，所有 EUV 客户都承诺采用新技术，但他们的具体实施时间可能有所不同。“每次技术转型都是如此。”

英特尔CEO基辛格：与台积电既是客户关系也是竞争关系

据报道，英特尔CEO基辛格在10月31日公布财报后接受媒体采访时谈到，台积电是一家“很棒的公司”，两家公司既是客户关系，也是竞争关系。

基辛格表示，台积电“是一家很棒的公司。他们创造了晶圆代工模式，给客户和我们极佳的服务。还有，我们谈到的AI PC，Lunar Lake（英特尔支持AI笔记本电脑的处理器），如果没有台积电，我们就办不到，他们是这项计划成功的关键。”

基辛格称：“我们希望做为一家具有规模的西方晶圆代工厂商，我们认为这对西方世界至关重要。最终，我也会供应他们一些我们先进的设备。因此，这是复杂的关系，对英特尔、对台积电、对产业而言都是甚为重要的。英特尔与台积电既是客户关系，也是竞争关系，双方有良好的合作。”

近日有媒体报道指出，英特尔交由台积电代工晶圆的 6 折折扣已遭取消，必须支付全额费用，导致英特尔利润遭到压缩。消息人士称，原本数年前台积电与英特尔之间的关系良好，当时英特尔将部分晶圆交给台积电代工，台积电向英特尔的3纳米晶圆代工价格提供6折优惠，但随基辛格上任后推出“IDM 2.0”战略，开始大力发展晶圆代工业务，并屡次向美国政府提及不能依赖中国台湾半导体制造，导致台积电取消折扣优惠。