NAND不再只拼层数,巨头“兵分三路”谋突围

原创来源:半导纵横发布时间:2026-10-22 13:54
作者:晨辰
三星电子
芯片设计
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NAND的竞争逻辑开始向键合工艺、系统分层和存内计算等不同的架构方向分化。

近期,三星在GMIF2026上展示了400层以上的V10 BV-NAND,铠侠与闪迪(Sandisk)亮出了基于CBA键合架构的第十代3D NAND。与此同时,SK海力士不仅公布了基于3D FeNAND的存内计算研究成果,还与闪迪联合推动了HBF(高带宽闪存)标准在OCP峰会上的实体模型展出。此外,美光也公布了跳过G10、直接采用晶圆级键合技术的400层以上G11 NAND计划,并提出了将NAND推向计算芯片身旁的“近GPU NAND”布局。这些头部厂商的动作说明,NAND的演进正在转向键合堆叠、存内计算和分级近存三条不同的技术路线。

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制造与架构双重受限,单片堆叠遭遇物理天花板

过去,3D NAND的进化史就是一部“叠楼史”。从早期的32层、64层,一路增加到200层、300层。层数的多少,几乎成了衡量NAND技术代际的唯一标尺。只要把楼盖得更高,就能在同样的硅片面积里塞进更多的数据。

但是,当层数逼近400层甚至更高时,这栋摩天大楼的地基开始晃动了。

最直接的阻碍来自制造维度的物理极限。3D NAND的核心工艺是“深孔刻蚀”,也就是要在几百层不同材料交替的厚膜里,打穿出贯穿上下的垂直通道。随着层数向400层以上迈进,孔的深度达到了十几微米,而孔径往往只有百纳米级别。这种极高的深宽比,导致等离子体很难均匀进入孔底,孔洞容易出现上宽下窄的锥形形貌,或者刻蚀不到位。刻蚀稍微有一点不均匀,沟道电流就会严重衰减。

更棘手的是晶圆翘曲。几百层不同薄膜叠加在一起,热胀冷缩带来的内应力会让整片晶圆明显翘曲。一旦翘曲度超标,光刻机就无法精准对焦,甚至在机台真空吸附晶圆时直接发生碎裂。

除了制造,芯片架构的效率也到了衰减的临界点。在传统设计中,负责逻辑控制的外围CMOS电路和存储阵列是并排放在同一片晶圆上的。层数越高,外围电路需要占据的面积就越大,导致“堆叠效率”不升反降。此外,楼盖得越高,连接底层的位线就越长,寄生电容和电阻负载随之急剧上升,信号传输频率被严重拖慢。 

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传统“单片一次性沉积刻蚀”的路线,边际成本越来越高昂。在地面继续加盖楼层已经触及物理天花板,巨头们只能改变思路,寻找新解法。 

头部厂商重构底层架构,三条技术路线并行探索

面对这同一道难题,三星、SK海力士、铠侠、闪迪以及美光等全球头部存储厂商,分别从制造工艺、计算范式和系统层级,给出了三种不同的突破方向。

第一条技术路线是用键合绕开单片极限。既然单片晶圆承受不了那么高的层数,那就把原本挤在一整片晶圆上的结构分成两片,分别制造后再贴合起来。

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三星的V10 BV-NAND是这条路线在量产层面的先导。它放弃了在单晶圆上硬刻400多层,而是将存储阵列和外围电路分别在两片晶圆上制造,然后再通过铜混合键合技术,将两片晶圆面对面地垂直贴合。这样一来,深孔刻蚀的压力减半,外围电路也不用再抢占存储阵列的面积。据三星在GMIF2026上披露,V10 BV-NAND相比上一代V9,位密度提升了58%,读写性能提升33%,功耗降低25%。

更激进的验证来自三星的CMB(Cell Multi-Bonding)技术。在2026 IEEE VLSI研讨会上,三星展示了一个突破性的原型:把两片各自堆叠了450层的单元晶圆,通过铜混合键合互连,直接拼成了一座900层的存储阵列,并且已经通电验证了电气连通性。这意味着,通往1000层时代的路径,不再依赖极限刻蚀,而是靠“搭积木”。

铠侠与闪迪则采用了“同源但不同路”的CBA(CMOS直接键合至阵列)技术。“同源”是指它们底层的物理逻辑一样,同样是利用W2W(晶圆对晶圆)键合,把外围CMOS电路和存储阵列分开制造后再贴合;“不同路”则是指两者的主攻方向不同:三星更侧重于通过键合去突破单颗芯片的最高层数,而铠侠则更看重提升能效与接口速率。在第十代3D NAND上,铠侠通过键合使位密度较其首次引入该架构的第八代提升了59%(超过29Gb/mm²),接口速率飙升至4.8Gb/s。同时,他们引入了PI-LTT(电源隔离低电压终端)技术优化I/O接口供电。据Sandisk官方数据,这让数据输入的功耗降低了10%,输出功耗大幅降低了34%。

这几家巨头在键合路线上的底层逻辑高度一致:不再强求单片晶圆承受所有制造压力,而是把“阵列制造”和“逻辑连接”拆成两道工序。这种将两片独立晶圆进行高精度物理贴合的做法,要求极高的表面平整度和纳米级的对准精度,相当于用先进封装的思路,去破解前道制造遇到的物理极限难题。

第二条技术路线是让NAND从存储介质变成计算介质。如果键合路线是在解决“怎么装得更多”,那么SK海力士探索的3D FeNAND,则是在试图打破“存储”的能力边界,让NAND自己学会计算。

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在当前的AI大模型推理中,真正的瓶颈往往不是算力不够,而是数据在处理器和存储器之间来回搬运产生的巨大延迟和功耗,也就是著名的“内存墙”。SK海力士公布的3D FeNAND技术,利用铁电材料(氧化铪锆)的极化状态来存储数据。与传统的电荷俘获需要持续供电刷新不同,铁电极化在断电后依然能保持稳定,且能精准控制出128种甚至256种不同的电导状态。

基于这种特性,3D FeNAND可以在存储单元内部直接实现模拟存内计算(A-CiM)。它把乘积累加运算直接放在NAND阵列里完成,从而大幅减少了数据搬运的消耗。据SK海力士发表在IEEE IEDM上的论文数据:在相同芯片面积条件下,3D FeNAND的吞吐量较传统3D NAND阵列提升了10至20倍,能效更是飙升了4000至5000倍。

虽然这仍处于架构研究阶段,距离商业化还有距离,但它向行业证明了:NAND不再只是一个单纯的数据存储介质,在特定的AI负载下,它完全可以进化为一个低功耗的计算节点。相比于在DRAM中做存内计算面临成本和容量密度的限制,NAND先天具备的大容量和低成本优势,使其在承载海量AI权重数据时更具工程落地潜力。

第三条技术路线是在存储层级中给NAND寻找一个新的生态位。前两条路线重构的是NAND内部,这一条调整的是NAND在存储体系里的位置。 

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在AI推理中,HBM(高带宽内存)速度极快但容量小、价格昂贵;而SSD容量巨大,但GPU直接访问的延迟又太高。尤其是当下大模型上下文窗口向百万级Token跃升,KV缓存动辄占用上百GB空间,HBM根本装不下,而放到普通SSD里又会让GPU陷入漫长的等待。在“高带宽”与“大容量”之间,现有的方案难以两全,这就为一种兼顾两者优势的新型存储介质留出了空间。

SK海力士与闪迪联合发布的HBF(高带宽闪存)标准,填补了这个空白。

HBF利用TSV(硅通孔)技术,像封装HBM那样垂直堆叠NAND裸片。根据SK海力士与闪迪联合发布的首版HBF规范,HBF支持8层和16层堆叠,单堆叠最高容量达512GB,带宽在0.4TB/s至3.0TB/s之间。它专门用于长上下文KV缓存这种对延迟要求相对宽松,但对容量和成本高度敏感的数据。

美光则选择从物理距离入手,提出了“近GPU NAND”的概念——把高耐久性的NAND直接放到GPU的封装内部,或者紧贴着GPU的PCB板放置,能最大程度缩短物理访问路径。这种专供近端计算的NAND,会牺牲部分存储密度以换取极高的读写速度和寿命,但其成本依然比HBM便宜一个数量级。

键合路线拼的是晶圆对准精度与翘曲管控。随着键合层数的增加,两片晶圆哪怕有纳米级的对准偏差,都会导致良率崩盘;存内计算拼的是模拟状态的精度、一致性与可编程性,如何让铁电单元在不同温度下保持极其稳定的多级状态,是极大的工程挑战;分级近存拼的是内存控制器的系统调度能力,系统必须智能识别哪些数据该留在HBM,哪些该下沉到HBF,这对软硬件协同提出了极高要求。这三条路线的探索,不仅改变了NAND的物理形态,也重构了行业的竞争标准。

AI应用需求倒逼,NAND重构存储生态

这三条前沿路线在落地前,都还需要攻克各自的工程挑战。而在外部,AI大模型爆发带来的数据吞吐量激增,正让NAND面临更大的外部压力。从AI手机的多模态推理,到云端数据中心的超大模型集群,海量数据的吞吐正在对NAND提出更苛刻的要求。

随着DeepSeek等更轻量、高效的模型在终端铺开,AI手机的多模态推理需要频繁读写动辄十几GB的端侧模型数据;AI PC在处理本地生成的图片和视频时,不仅需要极高的顺序读写速度,还要保证长时间高负载下的稳定性;智能汽车的本地大模型部署,更是要求车规级NAND在极宽的温度范围内提供TB级的高可靠容量。同时,在云端数据中心,大模型训练和推理带来的海量数据吞吐,同样在拉动企业级大容量SSD的需求增长。如今的AI计算,已经不再满足于NAND仅仅“存得下”,而是要求它“存得快、存得省电”。

进入2026年,单纯堆叠层数的“叠楼游戏”已经不再是NAND行业的唯一破局方向。无论是三星和铠侠用键合巧解工艺难题,还是SK海力士探索让NAND学会计算、改变其纯存储的角色定位,亦或是美光拉近NAND与计算单元的物理距离,本质上都是在AI海量数据吞吐倒逼下的多维度突围。这些不同的破局方向最终能否走好,既要看各家在良率、精度和系统调度上的实测数据,也要看接下来在端侧与云端的实际应用情况。未来,这三个方向最终能达到怎样的高度,就交由接下来的量产落地来回答。

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