
ASML是全球唯一能够制造极紫外(EUV)光刻机的厂商,这类设备用于生产全球最先进芯片。公司CEO Christophe Fouquet表示,AI热潮的影响将持续10至15年,目前我们看到的仅仅是冰山一角。要满足这一需求,有赖于性能更强的光学系统、芯片垂直堆叠设计,以及庞大的供应商网络,而供应链很难快速扩产。因此ASML的技术路线图,是衡量AI硬件发展上限与推进速度的重要参考。
一项规划中的升级方案,是扩大ASML极紫外光刻系统的反射镜孔径。更大的孔径能让设备更精准地聚焦EUV光线,实现更精细的图形曝光,支撑未来的前沿制程工艺。
与此同时,ASML预计更多电路将采用垂直堆叠方式,而非平铺在平面上。当工艺微缩难度越来越大时,堆叠晶体管与其他电路结构,会成为芯片厂商提升密度与性能的另一途径。这种方案对于AI芯片尤为重要,AI芯片需要更强算力,同时要更快读取存储器数据。
Fouquet称:“我认为AI对社会和产业的影响将持续10至15年,现在我们只看到冰山一角。”该公司的判断表明,AI带来的是半导体制造技术的长期升级需求,并非只是短期的AI加速器订单爆发。需求范围不止处理器,还包含支撑AI负载所需的生产设备、封装技术、存储器、网络设备与数据中心系统。
ASML处在这条制造产业链的核心位置。它是唯一量产EUV光刻系统的厂商,头部晶圆厂使用其设备制造AI处理器。这项技术的复刻难度极高。一台EUV系统售价最高约4亿美元,包含超过十万个零部件。激光器、反射镜、真空系统与熔融锡液滴协同工作,产生EUV光并投射到硅晶圆上,整机体积大约相当于一辆双层巴士。
ASML依赖大量专业供应商。仅EUV系统就有约200家主要供应商,整个供应链涉及约2000家企业。蔡司提供核心光学组件,通快供应激光器,VDL负责机电系统。ASML在2013年收购光源厂商Cymer,保障EUV系统的核心部件供给。
这条供应链限制了ASML的扩产速度。公司无法单纯通过扩建组装工厂来提升产能,必须获取高度专用的零部件、生产技术以及能够满足严苛技术指标的供应商。
Fouquet表示:“我们的产品越复杂,在竞争力层面获得的优势就越强,我们的研发速度可以远超其他对手。”
尼康、佳能曾是光刻领域的主要竞争对手,目前二者重心仍在深紫外(DUV)光刻设备。DUV设备仍广泛用于芯片生产,但制造最先进制程则离不开EUV。
ASML的行业地位,也使其技术成为出口管制的管控对象。该公司不能向中国出售EUV设备。这项政策令中国芯片厂商无法采购最先进的光刻机,但也促使中国着手搭建本土设备供应链。
ASML还持有法国AI企业Mistral 11% 的股份。这笔投资让ASML接入欧洲AI软件市场,不过它在AI产业中的核心角色依旧是半导体设备供应商。
对于芯片市场而言,ASML后续的技术迭代,和现有设备同样关键。性能更强的EUV光学系统与芯片垂直堆叠设计,有望持续推动行业性能提升。但这也会进一步增加对专用制造设备、以及能够跟上需求节奏的供应链的依赖。
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