小芯片可以完成全面表征、测试,并被认定为合格裸片,但这并不能保证它被装配到另一款封装后,性能依旧保持原样。小芯片本身或许没有变化,但它周边几乎所有环境都会发生改变。
不同的基板会改变机械与电气环境;不同的热界面材料会改变器件的散热方式;全新的功耗上限则会直接增加需要导出的总热量。在第一款产品中可行的热通路,放到第二款产品里就可能触发降频,因为封装结构与散热的预设条件已经改变。
当小芯片被组装进另一套封装时,工程师面对的可能是一套完全不同的系统。这就是封装模型不能只止步于裸片边界的原因,也是复杂程度提升,导致封装数字孪生难以落地的根源。这就是先进封装数字孪生所要面对的核心难题:它们必须预测已知元器件在集成之后,乃至在更大系统内部的工作状态。
新思科技产品管理高级总监Kenneth Larsen表示:“一颗小芯片可能在某一种封装或产品SKU中完成表征与验证,之后被复用在另一种封装堆叠、基板、散热方案或者功耗环境中。小芯片本身没有改变,但它所处的电、热、机械环境全都变了。”
数字孪生已经开始应用于半导体制造领域,但晶圆前端产线的数字孪生和封装数字孪生不能简单等同。晶圆厂工艺孪生模型极其复杂,包含设备行为、工艺历史以及统计学习。区别在于,晶圆厂的大部分复杂变量都处在边界相对明确的制造环境内。
Larsen称:“晶圆厂工艺孪生复杂度极高,所以不能说晶圆厂的孪生简单、封装孪生很难。二者差异在于问题本身的性质。晶圆厂孪生通常局限在单一制造环境、一套工艺技术,以及一套受管控的设备、材料、工艺数据与统计学习流程。而封装数字孪生需要解决范围更广的集成问题 —— 多裸片系统如何在硅片、基板、组装、制造偏差、测试和可靠性学习全流程中实现。”
这种更广范围的集成问题,改变了数字孪生需要表征的对象。在异构集成方案中,封装越来越成为系统架构的一部分,电气、热、机械特性无法独立优化。工程师已经拥有各个领域成熟的仿真工具,但仅仅把这些工具并行运行,并不能构成封装数字孪生。
更大的难点在于,当封装从设计走向制造,要让多领域模型围绕同一个实体封装保持同步。当封装方案迭代时,制造产生的结果也需要回写到模型之中。
Larsen说:“封装、硅裸片、基板、材料、散热方案以及制造假设,必须协同评估。如果各自独立优化,数字孪生就只会变成后期验证工具,无法发挥真正价值。”
当封装被焊接到电路板、进入最终整机系统后,边界会变得更加模糊。封装外部环境变化会改变封装本身的工作特性,这意味着模型需要附带对应的外部场景信息。
安靠科技全球工厂IT与自动化副总裁Joon Ahn表示:“端到端封装数字孪生需要覆盖完整生命周期的可视能力,从晶圆制造、组装、测试,一直到最终系统运行。部分关键工艺信息来自上游代工厂,还有一部分来自下游客户的应用场景。”
即便所有必要数据都集中在一处,保留这类场景信息依然难度很高,而现实中这些数据往往分散各处。
从外包半导体封装测试厂(OSAT)的视角来看,先进封装所需的大量信息来自外部:一部分来自代工厂,一部分来自基板与材料供应商,还有一部分只能在组装或测试完成后生成。即便是同一产线内的设备,根据设备年限和厂商不同,输出的数据类型也不一样。
Ahn指出:“对外包封测厂而言,端到端数字孪生不是单一模型,而是一套由工艺、设备、生产、供应链和追溯数据组成的互联生态。封装性能由多个工艺步骤之间的相互作用决定,部分关键工艺信息来自上游代工厂或者下游客户应用。”
封测厂拿到的数据,和预测模型理想状态下需要的数据存在差距。传入的裸片数据可能包含关键尺寸与晶圆分选结果,但缺少详细的功率密度或者局部应力分布图。基板来料可能满足标称规格,但缺少整批产品实际翘曲数据;材料数据表也无法体现材料在终端器件中的真实表现。
Larsen表示:“下游分析看起来精度很高,却忽略了真实制造情况。缺失的不只是更多数据,而是场景上下文 —— 它告诉后续工具或工程师该如何解读这些数据。”
即便数据在交接过程中完整保留,场景信息依然可能丢失。问题在于供应链不同环节,对同一个物理系统的描述方式各不相同。
日月光集团企业研发副总裁CP Hung说:“最难的数据交接,不一定发生在数据最少的环节。往往是数据需要在完全不同的工程领域之间流转时。代工厂用一套方式描述裸片特性,基板供应商是另一套,材料厂商提供的参数又是在特定条件下测得。OSAT需要整合所有信息,预测组装过程中的器件表现。”
当信息跨越企业边界,场景信息更难保留。材料供应商掌握的化学特性信息,设备厂商并不了解;设备厂商掌握的工艺集成细节,OSAT和代工厂也未必能获取。很多这类知识都属于知识产权。
三菱化学集团市场与业务拓展高级总监Sanjiv Bhatt表示:“各家都持有自己的数据,并且都希望保护知识产权。我在这个行业从业多年,早年我们的协作模式不一样,整个产业生态会更加开放。”
因此封装数字孪生的数据难题,一部分属于技术问题,一部分属于组织协同问题。通用文件格式有助于工具之间传递信息,但无法补齐从未共享的工艺数据、没有完成表征的材料参数,或是上游发生但没有随裸片一同交付的工艺异常。在启动耦合仿真之前,模型就可能已经不完整。
即便拿到完整的标称数据,也只能描述工程师预期制造出来的封装。实际制造会带来偏差,成品未必符合理想几何模型。在光子器件领域这个现象尤为突出,几何尺寸微小偏移,就会显著改变器件性能。加工过程中,关键尺寸、薄膜厚度、侧壁轮廓会发生偏移,改变光损耗或者波长响应,但器件表面不一定出现明显 “损坏”。
Silvaco TCAD事业部高级副总裁兼总经理Eric Guichard称:“最大的脱节在于,光子器件通常基于理想几何结构完成设计和优化,但实际制造器件会受到工艺波动影响。光子集成电路在仿真或是受控实验中性能优异,但大批量生产带来的尺寸、轮廓与材料偏差,会直接改变光学特性。因此,基于图纸几何优化的设计,往往无法代表真实制造出来的器件。”

图1:GPU加速三维时域有限差分(3D FDTD)仿真,展示制造偏差带来的电场分布变化。来源:Silvaco
该问题不只局限于光子器件。模型可以准确描述标称结构,却忽略一些在硬件制造完成后才凸显的次要制造效应。
NLM Photonics首席执行官Brad Booth说:“这些细微效应很难在模型中体现。在ASIC设计工具中我们已经习惯先仿真,后端输出结果通常和软件模型高度接近。但如果材料没有经过长期验证,或是技术处于前沿探索阶段,难度就会上升,这些细微因素会带来巨大影响。”
湿度、清洗液浓度变化、轻微刻蚀不足等精细工艺细节,只要会影响性能,都必须作为模型输入。新材料带来额外挑战:工程师不仅需要知道材料标称参数,还需要掌握参数随尺寸、环境(尤其是温度)和时间的变化规律。
Brewer Science研究科学家、项目负责人Hanlin Chen表示:“数据表给出的只是某一时刻、特定条件下的一组参数:热膨胀系数、弹性模量、附着力、粘度。材料的机械与热学特性会随固化程度变化。交联密度在加工完成后还会持续演变,粘接强度高度取决于具体键合界面。热膨胀系数也会变化,尤其是聚合物接近玻璃化转变温度Tg的区间。如果把这些参数当作固定不变的数值,仿真结果与实际硅片之间就会出现巨大偏差。”
即便材料名称和配方不变,它的特性也处于动态变化。建模时有效的参数,在固化、受热、组装之后,代表性会下降。所以问题不只是收集更多材料参数,工程师还需要明确参数适用的场景。
Booth提到:“引入任何新材料,都会大幅增加变量。你需要知道材料在各类环境中的表现,以及全生命周期内的波动范围。模型只能做到一定精度,给出大致区间。但最终还是要制作实物,用来和模型做比对校准。”
制作实物能验证一个问题,但立刻引出新问题。新材料组装完成后,各类偏差不再独立作用。这时搭建数字孪生,不只是完善输入参数,还需要考虑热、机械环境带来的相互影响。
这种耦合效应,是封装数字孪生和传统仿真集合最大的区别。工程师为了方便,会分开对热、机械、电气特性建模,但实体封装不会遵守这些人为划分的边界。
一旦各项效应开始互相反馈,独立模型就很难拆开。功耗就是典型例子:电流产生热量,热量改变电阻,电气变化又改变功耗。新的功耗分布再次改变热场,工程师需要在电学和热学模型之间反复迭代,直到结果收敛。
工艺偏差也存在同样的耦合,一项变化会改变另一项的作用效果,而不是简单叠加。
Guichard说:“一个关键结论:这些变量很少独立作用。良率往往由多项工艺偏差的非线性耦合效应决定。”
标准化在这里也变得困难。传热或者电学行为本身的模型理论成熟,但不同接口处的假设条件很难通用。
Larsen表示:“最难标准化的往往是接口,而不是独立的物理领域。难点集中在材料、结构、工艺、供应商和系统级决策交汇之处。”
例如基板厂商和封测厂各自的模型在技术上都成立,但二者基于不同假设描述同一物理现象。不是模型本身有错,而是模型之间无法顺畅对接,形成统一的封装表征。
最终,实体封装会用来校验模型。实测数据本身会成为数字孪生的一部分,而不是仅作为最终检查项。Intel混合键合的案例很有参考价值:实验测得形变数据回传至有限元模型,工程师迭代优化模型,再用模型去探索那些难以做实物测试的方案。
目标是缩小需要评估的工况范围,降低形变,理解器件性能对工艺、材料变化的敏感度。单次测量很难反映全貌。翘曲是先进封装重要的校准指标,但满足翘曲指标,不代表封装其他所有特性都符合预期。
更难的是判断何时需要补充测量。如果跟踪每一步工艺里的全部变量,成本会高到无法落地。但部分制造工序会显著改变封装物理状态,这时模型就需要重新对照实测结果。
Hung说:“我的观点不是每一步都要全部测量。而是在封装状态发生改变的节点进行测量。” 这类状态转变包括键合、塑封、固化、减薄以及温度变化。
因此建模必须纳入全部封装界面信息与测试结果。Ahn提到:“封装模型中,翘曲是最直观的测量项,但仅有翘曲数据不够。校准数据集还需要包含凸点与互连测量、裸片定位、基板表征、底部填充 / 塑封料 / 热界面材料测试、热学表征以及电性测试。”
当技术本身尚属前沿时,模型开发与实物开发无法分割。
Booth说:“必须一边制作器件,一边搭建数字孪生,才能建立模型与实物的对应关系。两项工作必须同步推进。就算我设计出一套优秀电路,只有做出实物、验证实物和数字孪生保持一致,才能确认这个孪生模型可以准确代表终端产品。”
一次成功的校准也不会永久有效。封装、材料或者工艺一旦改动,新场景就会超出原始模型的验证条件。
Chen表示:“没有固定的校准周期,取决于新应用与原始模型验证条件的差异程度。全新封装架构、不同基板、热预算变化、工艺流程改动,都可能让材料脱离已验证的参数区间。我们的策略是,只要客户应用带来重大变量变化就重新校准,而不是按固定日历周期。”
校准本身也存在局限。只有维持模型有效的前提条件不变,校准才有意义。降阶模型、AI代理模型依靠简化表征换取运算速度,前提是不能丢失模型可信的适用边界。
Larsen提醒:“如果缺少场景上下文,快速模型只会快速导出错误决策。”
搭建封装数字孪生的难点,不只是构建高精度的电、热、机械模型。真正挑战在于:随着制造过程不断改变封装实物,同时伴随新数据持续输入,始终让模型和实体封装保持对应。晶圆制造、组装、测试的实测数据必须回写到模型,同时附带足够的场景信息,说明这些测量数据代表什么。
先进封装场景下这点尤为困难,永远无法做到全量信息完全掌握。元器件来自多家供应商,材料在加工过程中发生变化,组装带来新应力与耦合效应。数字孪生必须跟着封装实物同步迭代,否则模型虽然计算精准,但描述的却是一个已经不存在的器件。
Larsen称:“一个有价值的封装孪生,不只是和硬件并行的仿真程序。制造完成的封装用来迭代模型;模型则帮助团队在敲定新设计、封装堆叠方案或者产品SKU前,预判可能发生的变化。”
这或许就是评判成功的真正标准:数字孪生不需要一次性完美预测实体封装,而是在实体封装不断变化的过程中持续保持实用价值。
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