
三星显示计划投资约3000亿韩元,实现红绿蓝(RGB)OLEDoS(OLEDoS)显示屏的量产。其中蒸镀设备由Sunic System供货,这部分设备金额约占总投资的一半。
业内消息称,三星显示将于本月召开投资审查委员会会议,敲定12英寸RGB OLEDoS的量产投资方案。这条产线的月产能规划为3000片晶圆,行业预估总投资规模约3000亿韩元。建厂地点尚未最终确定,但大概率会选址A2工厂,该厂区现已建有12英寸白光OLEDoS(WOLEDoS)产线。
今年早些时候,三星显示对Sunic System以及日本佳能Tokki的12英寸RGB OLEDoS蒸镀设备进行评估。在对比设备性能与供货经验之后,最终选定Sunic System。Sunic System即将供应的这套蒸镀设备预计耗资约1500亿韩元,是传统OLEDoS蒸镀设备价格(400‑500亿韩元)的三倍左右。之所以成本更高,是因为要在各个子像素上形成RGB发光层,设备对振动控制、掩膜版与晶圆的对位精度要求大幅提升。
剩余资本开支将用于封装、检测、清洗、物料搬运等前道与后道设备。实际投入金额会随设备规格、现有基础设施复用程度发生浮动。
设备订单预计将在第四季度下达。投资获批后,三星显示会敲定详细设备规格、交付周期以及验收条件,之后签署采购合同。
三星显示考虑在2027年完成设备进厂,2028年实现RGB OLEDoS量产。设备制造、安装、调试以及工艺稳定预计需要一年以上时间。
OLEDoS是在硅晶圆上制备OLED发光层的微型显示器件,按照显色方式可以分为白光OLEDoS(WOLEDoS)和RGB OLEDoS。
白光OLEDoS是在白色OLED发光层上方叠加彩色滤光片实现红绿蓝色彩输出。该方案不需要为每一个子像素分别蒸镀有机材料,因此蒸镀工艺、掩膜版对位的要求相对宽松。其量产技术与供应链已经成熟,Apple Vision Pro等消费级扩展现实(XR)设备就采用了白光OLEDoS。但白光在穿过彩色滤光片时会产生光损耗。想要提升屏幕亮度就需要消耗更多功耗,会带来发热、电池续航方面的短板。
RGB OLEDoS则直接在各个子像素上分别蒸镀红、绿、蓝发光层。去掉彩色滤光片可以减少光损耗,在亮度、发光效率以及色彩还原能力上更占优势。RGB发光层可以采用有掩膜蒸镀或者无掩膜工艺实现,三星显示预计会选用有掩膜蒸镀方案。要在仅数微米大小的子像素上生成发光层,蒸镀过程中掩膜版与晶圆需要进行多次超高精度对位。
叠层结构需要堆叠多层发光层,会增加蒸镀腔室与传送系统的数量。同时,在整片12英寸晶圆范围内,还要解决掩膜版下垂、热形变、定位偏差、蒸镀膜厚不均等一系列技术难题。
三星显示2023年收购了美国微型显示企业eMagin,并以此为基础研发RGB OLEDoS技术。据悉eMagin原有8英寸RGB OLEDoS工艺良率大约只有20%。将晶圆尺寸从8英寸升级到12英寸,蒸镀均匀性与对位误差的控制难度会进一步加大。三星显示最终的量产时间与产出规模,取决于12英寸工艺能否把良率做到可用水平。
一位业内人士表示:“RGB OLEDoS具备亮度与效率优势,但12英寸晶圆的量产可行性尚未得到验证。设备到位之后良率能以多快速度稳定下来,将直接决定其商业化落地时间。”
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