
近日,有消息称,三星电子布局于龙仁市器兴园区的8英寸氮化镓专用晶圆代工产线,在客户芯片试生产验证阶段暴露严重可靠性缺陷。受故障影响,这条产线原定2026年内实现商业化量产的计划大概率向后推迟,也为三星发力第三代半导体代工业务增添不确定性。
氮化镓作为典型宽禁带半导体材料,凭借高频、高效率、耐高温等优势,广泛适配AI服务器电源、新能源汽车车载系统、工业自动化设备等场景,是全球功率半导体产业重点布局赛道。近年来,三星持续加码化合物半导体业务,设立专门团队推进氮化镓、碳化硅双线布局,这条8英寸氮化镓代工专线正是其切入功率晶圆代工市场的核心载体。该产线为定制化工艺专线,设计月度晶圆产能区间1300片至1500片。项目推进过程中,三星已经承接多家无晶圆厂芯片设计企业订单,完成多款定制化功率芯片的试流片工作,原本距离量产落地仅有最后验证环节。
但在流片结束后的可靠性老化测试中,潜在工艺隐患集中显现。测试记录显示,经由该产线制造的部分氮化镓芯片,在100摄氏度至200摄氏度高温环境持续不间断运行约1000小时之后发生功能性失效,器件直接停止工作。对于氮化镓功率器件而言,长期高温稳定性是商业化落地的硬性指标,电动汽车、算力基础设施等终端场景对芯片寿命、高温工况可靠性有着严苛标准,当前器件失效问题意味着现有工艺尚不具备大规模推向市场的条件。
据了解,晶圆端制造工艺被初步认定为本次长期高温可靠性失效的核心诱因。业内普遍推测,研发阶段三星为优化器件电气性能、达成导通损耗等关键指标,对工艺参数做出一系列调整,而参数优化未能充分兼顾长期热稳定性,最终造成芯片在持续高温应力环境下快速退化。氮化镓器件结构复杂,外延生长、钝化处理、界面管控任一环节出现偏差,都容易催生电荷陷阱、界面缺陷,在长时间高温运行条件下缺陷持续累积,进而诱发永久性器件故障。
故障出现之后,产线运营团队已经启动全面根因复盘,同步推进工艺迭代与样品复测工作。截至目前,三星尚未对外公布问题修复所需周期,也没有释放新的量产时间节点。这条氮化镓产线建设进程本身已经经历调整,三星最早规划2025年实现产线量产,受市场环境、工艺调试进度影响推迟至2026年,本次可靠性事故或将让投产节奏再度延后。
放眼全球市场,氮化镓功率半导体正迎来需求上行周期。AI算力建设拉动服务器电源需求,新能源汽车渗透率持续提升,叠加光伏储能产业扩张,带动全球氮化镓芯片订单稳步增长。当前氮化镓代工市场参与者数量有限,海外厂商占据先发优势,众多芯片设计企业存在代工产能缺口。三星这条8英寸产线顺利量产后,有望扩充全球氮化镓代工供给、加剧赛道竞争;量产延期,则会在短期内维持当前供需格局,给予其他同行更多市场窗口期。
从三星自身战略层面来看,氮化镓代工是其摆脱存储周期波动、拓展晶圆代工第二增长曲线的重要抓手。三星晶圆代工业务长期聚焦逻辑芯片,在功率化合物半导体领域布局起步相对较晚。企业希望依托成熟的晶圆制造基础快速切入赛道,同步吸引海内外无晶圆厂客户,构建区别于传统逻辑代工的业务板块。本次试产暴露出的可靠性难题,也反映出硅基制造经验无法直接平移至第三代半导体,氮化镓工艺开发存在独特技术壁垒,性能指标与长期可靠性之间需要反复平衡调试。
第三代半导体工艺攻关普遍存在“能做出样品,难通过长期可靠性验证”的挑战。短期性能达标只是第一步,数千小时高温、高压老化测试,才是区分实验室样品与工业化产品的关键门槛。不止三星,全球多家布局硅基氮化镓产线的企业,都曾在可靠性测试阶段耗费大量时间调整工艺。工艺修复不仅需要修改制程参数,还要开展多批次流片验证、长时间老化复测,整个流程往往持续数月。
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