微电子行业正迎来重大变革:业界持续研发前景广阔的新型材料与芯片架构。但这也意味着,各类全新电子材料必须经过严谨测试,才能保证器件在长期运行过程中稳定可靠。
维也纳工业大学联合 IBM 团队、新加坡国立大学团队研究证实,当前半导体新型绝缘层的常规测试方式,几乎无法输出可信的评估结果。研究团队提出一套全新实用测试方法,可依托精准测量数据推算电子器件真实预期使用寿命。该方案能帮助研发人员更快、更稳妥地筛选适配材料与制造工艺。相关成果已发表于《自然・电子学》期刊。
晶体管的使用寿命,很大程度由绝缘材料种类与工作电压决定。维也纳工业大学微电子研究所 Tibor Grasser 教授表示:“针对厚绝缘层,行业通用做法是持续加压、逐步抬升电压,记录绝缘层发生击穿的临界电压,再通过换算推导寿命。简单来说:若晶体管绝缘层厚度缩减至原来的十分之一,业内会默认击穿电场强度不变,耐受电压同步降至原先的十分之一。”

但微电子器件所用纳米级超薄介质层,不能套用这套简化逻辑。Grasser 解释:“薄层的击穿电场强度并非固定材料参数;击穿属于随机、与时序相关的现象,测试条件会极大影响介质失效判定结果。”
绝缘层并不会在达到某一电压瞬间击穿,击穿过程存在时间延迟;因此测试时电压升压速率至关重要。同时,介质不会整体同步失效,只会在材料晶格存在缺陷的薄弱点位率先发生损坏。
除此之外,样品温度与尺寸同样会显著改变测试结果:介质面积越大,内部存在薄弱缺陷点的概率越高。
Grasser 着重指出:实践充分证明,依靠这套过度简化的测试手段评估电子材料耐久性能,得出的结论往往完全失真。
该问题对半导体产业影响极为严峻:电子器件失效率预估偏差会造成巨额经济损失。当下行业仍在为下一代工艺筛选最优绝缘材料,一套精准、高效的寿命预测手段,是材料选型的核心刚需。
在此之前,想要获取可靠寿命数据只能采用耗时极长的测试方案:对不同面积的材料样品施加多组恒定电压,长时间静置直至绝缘层击穿,再对多组击穿数据做统计分析。Grasser 介绍:“采用该传统方案,往往需要数月时间才能拿到有效评估数据。”
研究团队提出全新方案,无需长期静置测试即可完成精准评估。Grasser 介绍:“我们按照标准化速率线性抬升电压,直至器件发生击穿;不会直接使用击穿原始数据做寿命判定,而是配套专属统计算法分析。整套流程要求至少设置三组不同升压速率开展平行测试,通过统计学模型建立电压加速效应与器件失效概率的关联,最终换算出产业实际生产所需的关键参数。”
“依托这套算法,我们可以精准算出:特定面积规格的批量器件,在指定使用年限内能够承受的最大安全电压,以此确定器件额定工作电压上限。”Grasser 补充道,“该方法实现不同材料之间的客观、可信对比,避免出现投产多年后才发现材料选型错误、器件寿命远低于预期的重大风险。”
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