华海清科：离子注入机交付国内先进存储龙头企业

近日，华海清科股份有限公司全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。这是继此前该装备批量交付多家集成电路制造头部企业后，华海清科离子注入系列装备在存储芯片领域的又一重要进展，市场渗透力持续增强，客户认可度再上新台阶。

离子注入机是集成电路前道工艺的关键核心装备，技术壁垒高且长期由国际巨头垄断。华海清科自布局离子注入装备以来，稳步推进产品研发与产业化进程，自主研发的大束流离子注入机系列装备已陆续批量交付多家国内集成电路制造头部企业，并收获持续订单。

此次大束流离子注入机iPUMA-LE交付国内先进存储龙头企业，是对其稳定性、均匀性和工艺匹配能力的高度认可，进一步印证了华海清科离子注入装备的综合性能与量产可靠性，也为公司在存储芯片制造领域的市场拓展打开了更广阔的空间。

iPUMA-LE关键性能指标已达到国际先进水平，具备优异的束流传输效率、注入均匀性与角度控制能力，能够满足先进制程、先进存储对离子注入工艺的严苛要求。华海清科在离子注入装备领域持续深耕，除大束流离子注入机系列装备已实现型号全覆盖外，中束流离子注入机系列装备也取得了阶段性进展，同时积极布局高能离子注入机系列装备，可全面服务于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、图像传感器等多元应用领域，满足客户对不同工艺节点与器件类型的多样化需求。

华海清科Q1净利增速大幅跑输营收

4月22日晚间，华海清科发布2025年年度报告及2026年第一季度报告。

其年报显示，华海清科2025年实现营业收入46.48亿元，同比增长36.46%；归母净利润10.83亿元，同比增长5.89%。其净利润增速远不及营收涨幅，呈现出利润增长乏力的迹象。

同日（4月22日）晚间，华海清科发布2026年一季报显示，公司一季度实现营业收入12.01亿元，同比增长31.66%；归母净利润2.47亿元，同比增长5.95%；扣非归母净利润2.25亿元，同比增长5.97%。

对于业绩变化，华海清科表示，CMP装备在先进逻辑、先进存储及先进封装等领域开始批量应用，市场占有率和销售规模持续提高，有效保障了经营业绩的稳步增长。

盈利能力方面，2025年，华海清科毛利率41.81%，同比减少1.39个百分点。其中，公司核心业务的半导体装备板块毛利率为40.88%，同比减少1.94个百分点。拉长时间来看，2024、2023年公司毛利率分别为43.20%、43.55%，呈现下滑态势。

同时，华海清科还存在客户相对集中的风险。2025年，公司前五名客户销售额29.78亿元，占年度销售总额64.07%。其中前五名客户销售额中关联方销售额3.64亿元，占年度销售总额7.84%。

2025年，华海清科北京、广州两大厂区相继启用，北京厂区聚焦高端半导体装备研发及产业化，重点推动减薄、划切、湿法等先进半导体装备的技术突破与产能释放，加快新产品、新功能的研发创新与迭代升级，持续丰富与完善公司产品线；广州厂区专注高端半导体装备核心零部件及供液系统的研发制造，提升区域技术服务能力与供应链响应效率。