凯世通向传感器行业新客户交付首台低能大束流离子注入机

近日，万业企业宣布，旗下凯世通已于6月13日成功向首个通过投标赢得采购订单的传感器行业新客户交付了首台低能大束流离子注入机。

资料显示，凯世通是一家专注于研发制造集成电路高端离子注入设备的高科技公司，主要提供系列化的离子注入解决方案。离子注入机是芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机，被业内人士称为“厂长杀手”，其中低能大束流离子注入机的市场规模最大、产业化难度极高。

目前凯世通已实现了国产低能大束流离子注入机从样机研发、产线验证再到规模量产的跨越式发展，产品在10余家国内主流12英寸集成电路产线安全量产，覆盖先进逻辑、先进存储、CIS图像传感器以及功率芯片四大核心领域。

今年5月，凯世通宣布，国产低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片。随后（6月5日），凯世通再次获得一家12英寸主流晶圆厂客户的低能大束流离子注入机复购订单。