晶盛机电旗下求是创芯12英寸常压硅外延设备顺利交付

近日，晶盛机电在其官微宣布，下属公司求是创芯自主研发的12英寸常压硅外延设备已顺利交付国内某头部客户。此举标志着晶盛机电12英寸常减压外延设备已全面进入硅片制造、功率器件、先进逻辑等不同应用领域。

资料显示，求是创芯成立于2021年，注册资本约4321万元，控股股东为晶盛机电全资子公司浙江求是半导体设备有限公司，专注于8-12英寸先进制程用CVD类半导体设备开发。

随着半导体工艺的不断进步和新技术的发展，集成电路正朝向更高集成度、更高性能和更低功耗的方向发展。近年来随着新能源汽车、5G通信、大数据、人工智能、物联网等新兴产业的快速崛起，不仅对高性能硅外延片的需求急剧增加，同时对外延生长设备的技术水平也有了更高要求。

据“晶盛机电”介绍，此次求是创芯交付的12英寸常压硅外延设备基于化学气相沉积技术，可在特定晶向的单晶硅衬底上外延生长晶向一致，且参数可调的完整单晶层，其电阻率、厚度均匀性、外延层缺陷密度、生产效率以及工艺重复性等关键指标达到国际先进水平。