中国科学院上海微系统所开发出高性能10mm大口径压电MEMS快反镜

中国科学院宣布，上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、助理研究员王栎皓团队，开发了一种高性能的 10 毫米大口径压电 MEMS（微机电系统）快反镜。

这种产品能够实现更精确的激光光束闭环控制，可满足激光星间链路对高精度、快速响应与稳定性的需求，为卫星通信终端提供小型化高性能解决方案。

据介绍，研究团队在前期研究基础上开发了一种 10 毫米大口径压电驱动 MEMS 快反镜。该设计采用双层异构集成技术以及晶圆级键合工艺，器件具备高线性度超高角度分辨率、快速阶跃响应以及高重复定位精度。

在结构设计方面，研究团队创新性引入力学定向结构形成应力集中区域，显著优化了光束控制的精确性。

在性能表征方面，研究团队首次针对 10 毫米大口径镜面动态变形进行表征，在准静态驱动下最大动态表面形变仅 2 纳米，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。

研究团队表示，与传统机械快反镜及现有商用 MEMS 快反镜相比，该器件优势显著，在航空航天领域具有重要的应用前景，未来将继续针对镜面尺寸、闭环控制以及器件可靠性进行优化研究。