下一代微电子技术,需要晶体管开关性能的重大革新,以此提升计算能力。但传统半导体技术已经遇到被称为 “玻尔兹曼桎梏” 的物理极限。该极限制约传统晶体管的能效,阻碍高性能电子器件的进一步发展。

为攻克这一关键瓶颈,香港理工大学的一支研究团队利用二维纳米材料,研制出一款新型隧穿场效应晶体管(TFET)。这项重大突破,让这项期待已久的实验技术距离商业化落地更进一步,为低功耗计算以及下一代人工智能(AI)芯片提供核心基础器件。
本研究由香港理工大学物理与材料学系主任、材料物理与器件讲座教授、理大‑武汉技术创新研究院副院长Jianhua Hao教授牵头,联合新加坡国立大学、香港科技大学、北京大学以及新加坡科技设计大学的研究人员共同完成。相关研究成果已发表于《科学》期刊。
集成电路由不断在导通、关断两种状态之间切换的晶体管构成,是现代计算的基础。传统互补金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)依靠电荷越过势垒的热电子发射机制工作,栅极驱动电压的理论下限为60毫伏(mV)。
然而,著名的玻尔兹曼极限(又称 “玻尔兹曼桎梏”),让MOSFET在室温条件下,无法实现低于60 mV/十倍频的亚阈值摆幅,这直接遏制了高性能电子器件的进一步发展。
Jianhua Hao教授表示:“国际器件与系统路线图(IRDS)将隧穿场效应晶体管(TFET)视作最有希望替代MOSFET的器件方案。我们利用量子隧穿效应替代热电子发射,这款二维异质结晶体管突破了60 mV/十倍频的物理边界,打破传统MOSFET的固有限制。我们研发的TFET,可为新兴AI芯片、先进半导体应用所必需的超低功耗、高性能集成电路铺平道路。”
为解决过往TFET器件的性能短板,Jianhua Hao团队采用脉冲激光沉积(PLD)技术,制备由二维铋(Bi)、硒化铟(InSe)交替堆叠而成的超薄异质结构。通过在纳米尺度精准调控层状结构,本为半金属的铋在二维形态下转变为半导体,形成理想的能带匹配,载流子得以借助量子隧穿效应高效注入硒化铟。

该器件可在室温下工作,仅需160毫伏的栅极电压区间,远低于传统器件所需的800毫伏,为面向新兴AI芯片与先进半导体应用的超低功耗、高性能集成电路创造条件。
这款铋/硒化铟TFET,在六个数量级的电流切换范围内,亚阈值摆幅均显著优于60 mV/十倍频的热发射极限。器件制备在常规厘米级硅衬底之上、室温环境即可工作;所需栅极电压区间仅160毫伏,远低于先进MOSFET所需的800毫伏。
至关重要的是,该器件解决了以往TFET实验器件长期存在的难题:在实现极高开关电流比的同时,获得高达数微安每微米(μA/μm)的高输出电流。高输出电流是驱动后级多个逻辑门(扇出)的必要条件,能够减小电路延迟,保障器件可与现有集成电路芯片兼容,也支持后续代际升级。
该研究同时证实,脉冲激光沉积(PLD)技术可用于高精度、晶圆级制备二维材料,适配未来超短沟道晶体管。由于可以和传统硅基制造工艺无缝集成,该突破为面向AI应用的低功耗微芯片与专用硬件,提供了一条具备可量产规模化潜力的技术路线。
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