先导科技12寸磁控溅射设备出货

7月30日，先导科技集团发布消息，江苏先导微电子自研Star600-EOSS12英寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在徐州高新区生产基地完成装配、整机联调、自动化检测与工艺验证，现已送达国内头部晶圆制造企业投入使用。