滨化集团实现6N级高纯氟化氢规模化量产

来源:半导纵横发布时间:2026-07-23 16:46
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仅仅相差一个数量级的纯度差距,却是卡脖子的关键。

近日,滨化集团宣布,公司半导体用高纯氟化氢产品纯度达到6N等级,即99.9999%,并且顺利实现规模化量产。经评测,该产品综合品质处于领先水平,标志着我国在先进制程配套电子特气领域,再次取得进展,持续补齐集成电路产业链上游关键材料短板。

在半导体晶圆制造流程中,高纯氟化氢承担着晶圆蚀刻、腔体精密清洗等关键任务,业内将其形象称作芯片产业的“化学雕刻刀”。芯片制造对原料纯净度有着极致严苛的标准,微量金属杂质、颗粒物污染,都可能造成整片晶圆报废,直接拖累生产良率。纯度等级成为划分氟化氢产品应用场景的核心指标,6N级高纯氟化氢是支撑28纳米及以下先进制程产线稳定运行的刚需材料。长期以来,该品类核心制备技术掌握在海外企业手中,形成较高技术壁垒。反观国内产业现状,本土量产产品大多止步于5N级(99.999%),仅仅相差一个数量级的纯度差距,却成为国内先进制程产线材料自主供应的一大阻碍,也是半导体材料领域典型的“卡脖子”环节。

从5N到6N并非简单的提纯升级,而是全流程系统性工程突破。想要稳定实现99.9999%纯度,需要持续优化多重精馏耦合工艺,解决原料中痕量杂质分离难题,同时在生产设备选材、洁净生产环境、成品充装、精密检测等环节建立闭环管控体系,杜绝生产、储运过程中出现二次污染。任何环节管控疏漏,都会直接破坏产品指标。海外企业依靠数十年技术积累与专利布局,长期占据高端市场主导地位,国内晶圆厂先进制程所需6N级高纯氟化氢高度依赖进口,不仅采购成本居高不下,还持续面临供应链外部扰动带来的供货风险。

本次滨化集团6N级高纯氟化氢达成规模化量产,意味着国内拥有了稳定供给先进制程的本土产品方案。随着AI算力需求持续扩张,全球先进逻辑芯片、下一代存储产线持续扩产,12英寸晶圆产能稳步爬坡,市场对于高端电子特气的需求同步上行。国内中芯国际、长鑫存储等头部晶圆制造企业持续推进产能建设与工艺迭代,对于6N等级高纯氟化氢的采购需求持续释放,本土材料厂商迎来难得的替代窗口期。高端氟化氢实现国产化落地,能够丰富国内晶圆厂供应商选择,有效降低单一进口渠道依赖,筑牢产业链供应链安全底座。

从产业演进脉络来看,国内电子化学品国产化进程呈现梯度推进特征。成熟制程配套材料率先实现大规模替代,适配先进制程的超高纯试剂、电子特气逐步进入技术攻坚与产业化落地阶段。氟化工产业是我国传统优势赛道,国内企业拥有充足上游原料基础,但过去很长一段时间,产能集中在工业级、中低端电子级产品。滨化集团依托自身氟化工产业积淀,向下游半导体高端材料延伸,打通从基础化工原料到半导体特气的产业通道,也为传统化工企业向高附加值半导体材料转型提供参考样本。

不过也应当客观认识到,产品实现量产只是第一步。半导体材料行业存在严苛的客户认证壁垒,晶圆厂导入一款新型原材料,需要历经长时间送样测试、小批量试产、稳定性验证等多个阶段,认证周期往往长达1至3年,通过认证后才有望稳定进入采购清单。后续滨化集团6N级高纯氟化氢想要持续打开市场,还需要加快推进国内主流先进制程晶圆产线的导入认证,持续优化产品批次稳定性,积累下游客户长期使用数据。

放眼整个半导体上游材料赛道,电子特气、湿电子化学品、靶材、光刻配套材料等细分品类正不断涌现本土化突破成果,但整体本土化率仍然偏低,多类高端产品依旧依靠海外供给。本轮全球半导体景气上行周期,叠加国内持续加大集成电路产业投入,为本土材料企业创造了宝贵发展机遇。

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