据报道,英特尔已率先将 High-NA EUV 技术应用于量产(18A Panther Lake)。然而三星这边虽然已经安装了两台 High-NA EUV 设备,却迟迟没有跟进量产。业内人士认为,三星这么做更多是出于财务考量,而非技术瓶颈。
三星去年已在华城园区安装首台 High-NA EUV 设备,并于今年上半年再增设一台,总投资金额预计超 1 万亿韩元。不过这些设备至今没有投入量产,商业化部署仍处于暂停状态。
三星的晶圆代工业务从 2022 年以来一直处于亏损状态,不过部分市场观察人士预计,该业务最快有望于今年第四季度实现盈利。对于三星来说,目前将 High-NA EUV 设备投入量产,意味着固定运营成本大幅增加。因此,三星目前不愿意在即将扭亏为盈的节点上承担更多资本支出。同时,三星 2nm 工艺良率已提升至 55% 左右,接近业内普遍认为稳定量产所需的 60% 水平。
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