鼎龙股份年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目已投产

鼎龙股份公告称，控股子公司鼎龙（潜江）新材料有限公司投资建设的“年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目”已顺利投产。该项目建成国内首条全流程高端晶圆光刻胶量产线，标志着公司在高端半导体材料领域实现关键突破。

鼎龙股份已布局超30款高端晶圆光刻胶产品，涵盖浸没式ArF与KrF等核心品类，过半数产品已送样客户验证，多款实现稳定批量供应。此次投产的项目对标国际一流标准，建成超三十条成品产线并预留扩展空间，可灵活适配多品类生产，产品覆盖3D NAND、DRAM等高端存储及高性能逻辑器件全制程节点。

此次项目不仅实现核心树脂、光致产酸剂等关键原材料自主供应，还通过智能装备集成、数字孪生管控等技术，实现90%以上自动化操作，保障量产稳定性与产品一致性。同时，公司配备国际一流光刻机及配套评价实验室，叠加覆盖全环节的高端人才矩阵，为产品快速商业化导入提供强力支撑。