光刻机核心零部件供应商华卓精科重启IPO

证监会网站今日披露，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科”）于 2026 年 2 月 12 日在北京证监局办理辅导备案登记，拟首次公开发行股票并上市，辅导券商为招商证券。辅导备案文件显示，华卓精科本次IPO预计于2026年4—5月辅导验收。

这已不是华卓精科首次冲刺资本市场。辅导备案报告显示，该公司曾于 2020 年 6 月申报科创板 IPO 并获受理，于 2021 年 9 月通过上市委审议。后基于整体市场环境及自身资本运作发展规划，公司于 2024 年 6 月主动撤回 IPO 申请。

股东方面，朱煜为华卓精科的控股股东、实际控制人，直接持有公司总股数的持股 37.81%，通过直接持股、间接持股和一致行动协议控制公司 51.89% 的表决权。

前次申报的招股书显示，朱煜为公司董事、核心技术人员、首席科学家，1965年1月出生，2001年毕业于中国矿业大学，博士学历，机械设计及理论专业。1983-2004年朱煜任教于中国矿业大学，先后任讲师、副教授；2001-2004年，于清华大学从事博士后工作；2004年10月至今任清华大学精仪系制造所/机械系机电所长聘教授，博导。

2007-2013年朱煜任北京七星华创电子股份有限公司独立董事，2016-2019年任北方华创科技集团股份有限公司独立董事；2012-2015年任华卓有限董事长兼总经理；2015-2015年任华卓精科董事长；2015年9月至今任华卓精科董事、首席科学家；截至2021年11月，朱煜兼任新冶精特董事、艾西科技执行事务合伙人、艾西博锐执行事务合伙人、沈阳芯源微电子设备股份有限公司独立董事、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司独立董事、沈阳富创精密设备股份有限公司独立董事。

朱煜曾担任科技部重点领域创新团队负责人及02专项技术副总师；曾先后获得2015年国家专利优秀奖、2018年国家专利银奖、2018年北京市科学技术奖一等奖等多项荣誉。

华卓精科成立于2012年5月，注册地于北京。主营业务为以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务。目前产品包括超精密运动平台（光刻机双工件台）、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件。其中，公司称其光刻机双工件台技术打破国际垄断，成为全球第二家（仅次于ASML）掌握该核心技术的企业。双工件台是光刻机的核心子系统之一，主要用于承载晶圆并完成高速高精度运动，以提高光刻机生产效率。该技术被视为光刻机三大核心技术之一，需在高速运动下实现纳米级精度（如2nm运动精度），技术难度极高。

公开报道显示，2026年2月4日，华卓精科自主研发的D2W芯粒混合键合装备交付武汉客户，新一代D2W芯粒混合键合装备（UP-D2W-HB）是一款面向HBM制造、Chiplet异构集成等前沿应用的关键设备。此外，公司面向HBM芯片制造的核心环节，已自主研发出多款系列高端装备，包括：混合键合装备（UP-UMA HB300）、熔融键合装备（UP-UMA FB300）、激光剥离装备（UP-LLR-300）、激光退火装备（UP-DLA-300）等。2025年3月29日，其自主研发的键合设备获第四届北京市人民政府质量管理奖。

2024年5月，公司聘请的会计师大华所因在金通灵财务造假案中未勤勉尽责，被江苏证监局暂停从事证券服务业务6个月。最终，在“新国九条”严监管背景下，已经历4年长跑、财务数据数次过期的华卓精科，最终选择与保荐人一起撤回申请。

而导致其撤回的真正原因，是交易所对公司科创属性、业务真实性和独立性的质疑。

华卓精科在招股书中称其核心产品为光刻机双工件台，也因此被媒体称为“光刻机概念第一股”。但监管问询显示，截至2020年9月，公司光刻机双工件台的实际销量为0；2020年4月发货给唯一客户上海微电子的产品，至撤回前仍未通过验收，未确认营收。

而此前在官网上，公司宣称其生产的光刻机双工件台“打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术上的垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司”。招股书也曾143次提及“光刻机双工件台”，多次使用“接近国际水平”等表述，但在交易所审核问询下，最终版上会稿中被迫彻底删除了该表述，将相关业务归类为“精密运动系统及技术开发”。

华卓精科激光退火装备成功出货第100台

去年11月，华卓精科宣布第100台激光退火装备完成检测、包装，正式发往客户现场。这标志着公司激光退火装备研发、制造、销售、交付和服务全链条能力均已获得市场高度认可，成功迈入新的规模化应用阶段。

华卓精科称，从零到百的跨越，感谢客户朋友的信任与支持。专业的沟通、精准的需求反馈、严苛的标准让每一台装备在实战中淬炼出硬实力。感恩供应商伙伴的同心同行，上下游共同坚守“追求卓越”初心，用稳定可靠的供应链，支撑装备的生产与应用。

华卓精科激光退火装备始终聚焦集成电路高端装备制造领域先进工艺需求，依托深厚的技术积淀自主研发高精密激光光学系统与超高精度运动平台；凭借丰富的先进制程工艺经验，为客户生产线连续、稳定运行提供了坚实保障；目前，该系列装备已在多家客户端顺利通过验证，凭借出色的综合性能赢得客户高度肯定，百台订单的获取正是产品实力与市场信心的有力证明。