欧洲后2nm先进制程中试线NanoIC，正式启用

Imec在其鲁汶总部正式启用扩建的2000平方米洁净室，这标志着欧洲纳米集成电路（NanoIC）中试线建设迎来关键里程碑。

欧洲委员会执行副主席亨娜・维尔库宁、比利时首相巴特・德韦弗、弗拉芒大区政府主席马蒂亚斯・迪彭代尔、阿斯麦（ASML）首席执行官傅恪礼出席本次活动。来自欧洲高科技产业生态的代表、NanoIC 中试线联盟成员，以及欧盟、比利时和弗拉芒大区的政策制定者共同参与仪式。

Imec洁净室总面积超 12000 平方米，对落实《欧洲芯片法案》、助力欧洲跻身下一代半导体创新与制造前沿具有关键作用。这一战略布局，将有力夯实欧洲在人工智能时代的产业基础，同时为欧洲未来数十年的持续经济增长、安全与繁荣提供保障。

Imec首席执行官吕克・范登霍夫表示：“自2024年5月宣布Imec承接 NanoIC 中试线项目以来，我们全速推进工作，加快设备采购，并启动全面招聘计划。如今，我们在Imec园区内正式落成2000平方米洁净室扩建工程，此前的各项努力至此结出硕果。这里将配备全球顶尖设备，其中包括阿斯麦下一代高数值孔径极紫外光刻（High NA EUV）光刻机，预计将于3月中旬到位。”

他补充道：“Imec的研究人员与集成器件制造商（IDM）、晶圆代工厂、设备及材料供应商、系统公司、初创企业、高校及欧洲其他研发技术组织并肩工作。我们共同踏上雄心勃勃的征程，推动半导体技术突破2纳米及以下工艺节点。NanoIC中试线将开放前沿半导体技术使用权，在强化欧洲人工智能时代产业根基、保障欧洲未来数十年经济增长、安全与繁荣方面发挥核心作用。”

战略意义与未来展望

在欧盟、比利时及弗拉芒大区政府的大力支持，以及产业伙伴的紧密协作网络支撑下，Imec即将在鲁汶园区启动一座全新4000平方米洁净室的建设，这将成为推动欧洲 NanoIC 项目全面提速的又一核心载体。

未来五年内，NanoIC中试线将引入超百台全新设备，部署于Imec及法国原子能和替代能源委员会电子与信息技术实验室（CEA-Leti）、德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会（Fraunhofer）、芬兰国家技术研究中心（VTT）、罗马尼亚 CSSNT-UPB、爱尔兰廷德尔国家研究所等合作机构。

弗拉芒大区政府主席马蒂亚斯・迪彭代尔表示：“我们没有条件成为规模最大、实力最强的地区，但我们有选择做到最顶尖。Imec汇聚了人才、知识与国际合作力量。依托NanoIC中试线，欧洲正将这一选择变为现实：追求技术卓越，实现战略自主。Imec承接这条中试线，彰显了弗拉芒大区在科研与创新领域积淀的卓越优势。在这里，我们正展现一个世界级地区如何塑造未来芯片技术。”

欧洲半导体领导力迈出重要一步

阿斯麦总裁兼首席执行官傅恪礼表示：“我们在强化欧洲芯片技术生态、服务全球芯片制造客户方面迈出重要一步。通过与Imec长达 40 年的合作，我们共同加速创新、深化协作、培育本土人才，这些都是支撑全球芯片产业与人工智能发展的必要条件。

正式启用的 NanoIC 中试线搭载了阿斯麦高数值孔径极紫外光刻系统，这是全球技术领军者携手汇聚最新技术与人才所能创造成果的最佳范例。感谢欧盟委员会主席冯德莱恩及《欧洲芯片法案》的有力支持，我们深感自豪与欣慰 —— 这一项目落地欧洲腹地，将让欧洲在全球半导体生态中扮演更为关键的角色。”

NanoIC中试线的设备采购与运营资金，由欧洲芯片联合企业通过欧盟 “数字欧洲” 计划（项目编号：101183266）与 “地平线欧洲” 计划（项目编号：101183277），以及比利时（弗拉芒大区）、法国、德国、芬兰、爱尔兰、罗马尼亚等参与国共同出资。