特斯拉首席执行官埃隆・马斯克(Elon Musk)在接受采访时表示,要建一座能“抽雪茄、吃汉堡”的 2nm 芯片厂。
马斯克声称特斯拉拟建的 TeraFab 超级工厂将具备生产 2nm 制程芯片的能力,并对芯片制造行业的“洁净室”(Cleanroom)标准发起了挑战,“特斯拉将拥有 2nm 工厂,而我甚至可以在里面一边吃汉堡、一边抽雪茄。”
针对如何防止汉堡油脂和烟尘污染硅片的问题,马斯克的解决方案是“晶圆隔离”(wafer isolation)。他主张将保护重点从整个房间缩小到晶圆本身,确保晶圆在所有加工环节中始终处于密封隔离状态。理论上,如果晶圆与外部环境完全物理隔绝,车间本身的洁净度要求确实可以降低。马斯克试图用这一逻辑证明,维持庞大且昂贵的 ISO 级洁净室不仅不仅效率低下,而且并非必要。
不过行业专家对这一设想持高度怀疑态度。依据 ISO 标准,尖端芯片制造需在 ISO 1 级或 2 级环境中进行,每立方米空气仅允许个位数微粒存在。即便实现了晶圆隔离,人类呼吸产生的飞沫、烟雾中的数亿微粒以及食物带来的有机污染,仍会弥漫在环境中。更关键的是,极紫外(EUV)光刻机等核心设备的精密反射镜对环境极度敏感,任何泄漏的化学物质或微粒都可能导致设备故障或良率雪崩。
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