东方晶源新一代高能电子束设备出机

近日，东方晶源自主研发的新一代高能电子束设备（High Voltage SEM，简称HV-SEM）SEpA-h755首台套顺利交付国内头部客户。

HV-SEM是东方晶源继EBI、CD-SEM、DR-SEM之后推出的第四款电子束量检测设备，标志着公司在前道电子束量检测设备四大核心领域已完成全面布局。

高能电子束设备的核心在于采用高能电子束进行扫描成像，其电子束的着陆能量通常达到30keV及以上，远超其他电子束量检测设备5keV及以下的常规水平。超大的着陆能量赋予设备穿透晶圆深层的“透视”成像能力，但需攻克高压系统，高能电子束偏转与精准控制，多探测器同步成像，高速度高精度运动控制平台，特殊场景校准技术和标准样品制备，新型软件算法开发等一系列技术难题。依托在电子束领域深厚的技术积淀，东方晶源研发团队攻坚克难，不仅成功推出这款全新设备，更实现了技术的快速迭代升级。