思锐智能完成数亿元C轮融资

近日，关键半导体前道工艺设备研发商青岛思锐智能科技股份有限公司完成数亿元C轮融资，本轮由国开制造业转型升级基金、国调基金领投，招银国际、中银资产、光谷金控跟投。资金将用于加速原子层沉积（ALD）和离子注入（IMP）设备的研发与量产。

思锐智能成立于2018年，专注提供自主可控的半导体核心装备，产品应用于集成电路、第三代半导体等领域，是专精特新“小巨人”企业。公司此前B轮曾获上汽集团、尚颀资本等知名机构投资。