新加坡启动全球首条8英寸碳化硅工业级开放研发生产线

近期，新加坡科技研究局（A-STAR）宣布启动全球首条200毫米（8英寸）碳化硅（SiC）工业级开放研发生产线。

该生产线由A-STAR微电子研究所（IME）运营，整合了从材料生长、缺陷分析到器件制造与测试的完整流程，旨在解决SiC技术开发中高成本、技术分散等挑战，加速其在电动汽车、电网及数据中心等高功率应用领域的商业化进程。

新加坡贸易和工业部第二部长陈诗龙透露，该生产线可供新加坡本地公司使用，特别是那些服务于电力电子终端市场的公司。它为本地企业提供了一个先进的研发和生产平台，使企业能够更便捷地开展碳化硅相关技术的研究和产品开发，提升自身的技术水平和市场竞争力。

另据媒体报道，该产线将与ASM、Centrotherm、Soitec等公司合作，其中Centrotherm提供高温退火与氧化设备，IME将与Soitec联合开发SmartSiC™技术，结合Soitec的SmartCut™工艺与IME的中试线，目标生产节能型高质量SiC晶圆。

未来，A-STAR还将与意法半导体、ULVAC和新加坡国立大学等达成合作。其中，与意法半导体的合作聚焦研发SiC功率器件及封装模块，优化汽车与工业应用性能，加速绿色出行及能效提升。