苏州矽视科技完成数亿元A轮融资

半导体前道电子束量检测设备行业解决方案领军企业矽视科技成功完成A轮数亿元融资。此轮融资由俱成投资、毅达资本、国发创投、相城金控等机构联合投资，老股东持续追加投资，山云资本则担任本轮的独家财务顾问。

矽视科技成立于2021年，由全球知名电子束领域技术专家引领，多位海归博士共同创立。公司专注于国内半导体前道设备中极为关键且面临 “卡脖子” 问题的领域，即电子束量检测技术在前道晶圆量检测方面的应用。目前，公司的首台CDSEM设备已在 Fab 厂上线使用一年多，承接产能超过50余万片，顺利通过各阶段量产及压力测试，已经开始批量对外销售。同时，针对国内6/8寸（含三代半）客户的升级版 CDSEM已完成产品定型，正处于密集的验证测试阶段，预计将成为 2025 年市场销售的主力产品。此外，满足高端制程需求的12寸CDSEM和电子束缺陷检测设备（EBI）已集成完毕，不久将会推向市场。

电子束量检测设备融合了精密光机电控制与图像处理软件算法，属于高精尖设备，不仅技术门槛高、资金投入大，研发周期长，而且相关专业人才稀缺。