年产912万片，青岛拟建半导体衬底材料研发生产项目

近日，青岛宣布将在高新区拟建半导体衬底材料研发生产项目，总投资32650万元，工期2个月，位于红岛经济区高新区科海路以北、科韵路以南规划东22号线以东、华贯路以西。

因市场原因，新一代光电器件用人工晶体材料项目不再建设，年产960万片蓝宝石衬底晶片生产项目改建为MiniMicroLED新型显示用半导体衬底材料研发生产智能化改造项目，在现有车间内进行，不新增占地面积和建筑面积。

项目总建筑面积7050平方米，项目投产后，半导体衬底晶片年产能可达912万片。项目劳动定员273人，年工作330天，生产岗实行两班工作制，其他岗位采取单班制，每班工作8小时。项目东侧为青岛德尔诺生物医药科技有限公司；南侧为科海路，隔路为中船（青岛）轨道交通装备有限公司；西侧为茂源路，隔路为青岛中工技工学校和诺然产业园。

制造衬底晶片的材料主要分为硅材料和其他化合物半导体材料两大类，分别对应着硅基芯片和非硅基芯片。如果将芯片的制造过程比作在微小面积上建造一座房子，半导体衬底就如同地基，没有高性能的半导体衬底，再先进的芯片也难以发挥其应有的价值。

根据该半导体衬底材料研发生产项目的地址，我们发现其与华芯晶电在青岛建设的半导体衬底项目重叠。

2022年2月，青岛华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目开工，总投资7亿元，建筑面积6.2万平方米，位于青岛市高新区科海路以北、科韵路以南、规划东22号线以东、华贯路以西。2023年6月，该项目完成封顶。

据悉，项目当时规划的是采用碳化硅、氮化镓、氧化镓等第三代半导体化合物材料加工生产相关芯片衬底产品，产品将广泛用于激光器、探测器等光电子器件，充电桩、新能源汽车动力组件、轨道交通、特高压输电组件等大功率器件及4G、5G通信基站通信微波射频器件。项目建成后，将实现年产33万片第三代化合物半导体衬底晶圆的产线。

除此之外，在招标网站中，我们还发现了青岛在进行一项Ⅲ-Ⅴ 族化合物半导体晶圆（衬底）的研发与产业化项目，项目位于青岛九龙街道，总投资 1550 万元，利用原有厂房进行生产线技术改造，购置倒边机等设备 25 台套，项目建成后，实现年产 Ⅲ-Ⅴ 族化合物半导体晶圆（衬底）10 万片。

半导体衬底材料处于半导体产业的上游，其研发项目的开展有助于吸引更多半导体产业链中下游企业如芯片制造、封装测试企业等，完善半导体产业链，形成产业集群效应。同时，半导体衬底材料研发生产需要用到多种配套材料和设备，如化工原料、电子气体、精密仪器等，能带动这些相关产业的发展，还能为机械制造、自动化设备等产业创造新的市场需求。

因此，青岛在政策层面也给予了很多支持。根据青岛政府官网信息显示，对于新引进且年研发投入额达 1000 万元及以上（基础研究支出可按 2 倍计入）的研发总部，按不超过当年研发投入额的 5% 给予一次性奖补，最高奖补 500 万元。在集成电路等新兴产业领域，每年组织实施一批关键技术攻关项目和科技示范工程，分别给予最高 500 万元和 1000 万元支持。

而聚集到青岛高新区其对半导体产业也有很多优惠政策。2022年印发的《青岛高新区关于振兴实体经济促进新一代信息技术产业集聚发展的若干政策》，在培育半导体及集成电路产业集群一项中，就有诸多福利。

· 流片及产品设计补贴：对购买非关联企业 IP 开展高端芯片或特色工艺芯片研发的企业，对其 IP 购买实际支出费用给予补贴；对使用多项目晶圆（MPW）流片的设计企业，对其 MPW 流片直接费用给予补贴；对完成全掩膜（Full Mask）工程产品首轮流片的设计企业，对其首轮流片费用给予补贴，补贴资金按照市级补贴资金 50% 配套。复用、共享本市或经认定的异地第三方 IC 设计平台的 IP 设计工具软件或测试与分析系统，给予实际支出费用 50% 的补贴，单个企业年补贴额不超过 100 万元，连续补贴 3 年。

· 工艺设备补贴：新引进的半导体及集成电路制造、封测类项目，工艺设备（不含办公设备、动力设备、环保设备）投资达到 500 万元及以上的，原则上按照投入的 20%，给予最高不超过 1000 万元的资金支持。支持资金分 5 年拨付，第一年至第五年补贴比例依次为 15%、20%、20%、20%、25%。

· 无尘车间装修补贴：新引进并经评审认定的半导体及集成电路生产企业，装修建设无尘车间且装修投资额在 1000 万元以上的，百级、千级、万级分别按每平方米 1200 元、1000 元、800 元的标准给予补贴，最高不超 200 万元。