中科芯申请基于机器学习的集成电路工艺参数优化专利

国家知识产权局信息显示，中科芯（苏州）微电子科技有限公司申请一项名为“基于机器学习的集成电路工艺参数优化方法及系统”的专利，公开号 CN 119067028 A ，申请日期为 2024年11月 。

专利摘要显示，本发明提供一种基于机器学习的集成电路工艺参数优化方法及系统，涉及集成电路技术领域，包括：获取制程历史数据，构建制程工艺知识图谱求解实体和关系间的语义相似性，提取关键工艺知识并构建先验知识库；确定工艺参数与良品率之间的因果依赖关系，设置因果特征选择准则，筛选关键因果特征子集，扩充制程工艺知识图谱，构建异构模型集成并确定工艺参数与良品率的动态变化构建多目标优化模型并设置优化目标，进行工艺参数优化求解，生成优化工艺参数并进行迁移学习，对工艺节点进行比较和映射，构建虚拟仿真系统并进行因果干预，生成工艺参数优化决策并修正贝叶斯因果模型。