Hello，大家好，今天给大家介绍下半导体制造中的OK73——光阻稀释剂。

什么是光阻稀释剂？

GHS标签/NFPA危险等级

光阻稀释剂的日常操作

1.该液体由厂务直供TRACK机台，通常litho EE工程师只需要监控机台上该液体Sensor的浓度/压力/流量是否异常以及做好日常巡检（有无泄漏）即可。

2.若机台上sensor异常，则确认是否厂务供应异常或者管路泄漏；若泄漏，则按照厂内规定的“事故响应处理”进行处理

个体防护装备PPE

1.呼吸系统-使用有机气体用面罩、供气式防护面罩；

2.手防护-戴防渗手套；

3.眼睛防护-戴防溅化学安全护目镜；

4.皮肤和身体防护-穿连身工作服工作靴；

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什么是半导体制造中的OK73——光阻稀释剂