Hello,大家好，我们机台来分享下半导体FAB种那些电子特种气体。

电子特种气体，主要包括硅族气体、卤化物或卤化物气体、含硼、磷、砷等原子的气体，以及氟碳气体，种类繁多。与工业气体不同，电子特气要求电子级，即纯度更高，以满足半导体制造微加工工艺的清洁要求，而“特殊”体现在其毒性、腐蚀性和易燃性等化学活动上，更容易参与半导体制造过程的化学反应。

电子特种气体种类繁多，是电子工业重要的原材料之一。电子特种气体指的是用于半导体及相关电子产品生产的特种气体，按照其不同的应用途径可以分为七类：掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、发光二极管用气、刻蚀用气体、化学气相沉积（CVD）用气体和稀释气体等。

在半导体工业中应用的特种气体高达110多种，其中常用的30多种，如下，

电子特种气体分类介绍

集成电路、新型显示是电子特种气体主要应用领域。半导体生产中几乎每个环节都要用到电子特种气体，因此被称为半导体FAB中的“血液”和“粮食”。电子特种气体的纯度直接决定了产品的性能、集成度和成品率。电子特气纯度每提高一个数量级，都能推动半导体器件产生质的飞跃。我们先看看集成电路中重点工艺对应的特种气体使用如下，

集成电路重点工艺涉及的气体（来自Linde）

电子特种气体的质量直接影响晶圆厂制造元器件的具体技术指标和良率，因此对气体纯度有着严格的要求。纯度通常用N来表示气体纯度，6N表示气体纯度为99.9999%。纳米级的集成电路线宽对电子特气纯度和净度提出更高要求，需要达到5N以上的纯度。

气体级别与纯度

电子特种气体的纯度对半导体及相关电子产品的生产至关重要。电子特种气体中水汽、氧等杂质组分易使半导体表面形成氧化膜，影响电子器件的寿命，含有的颗粒杂质会造成半导体短路及线路损坏，改变半导体的性能。

衡量电子特种气体质量的指标不仅是指气体本身的纯度，还包括影响制造过程的各种关键杂质含量，如氧气、水分、金属、离子浓度、颗粒等，电子特种气体中水汽、颗粒等杂质会影响电子器件寿命，造成半导体线路损坏。杂质含量通常为ppm（百万分之一，0.0001%）、 ppb（十亿分之一，十亿分之一， 0.0000001%）。

高纯气体产品品质检验要求

半导体工业的发展对产品的生产精度要求越来越高。以集成电路制造为例，其电路线宽已经从最初的毫米级，到微米级甚至纳米级，对应用于半导体生产的电子特种气体纯度亦提出了更高的要求。

不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求

电子特种气体厂商外购初级气体原材料后通过合成、纯化、混配、气瓶处理、充装、检测等一系列处理后制成特气产品。由于特种气体原材料具有同质性，在市场上较易取得，特种气体企业对供应商的议价能力较强，但受市场供需、经济周期等因素影响也要承担一定价格波动风险。

电子特种气体是仅次于大硅片的第二大晶圆制造材料。全球用于晶圆制造的电子特种气体市场保持约10%左右增速，占晶圆制造材料市场的12%左右。国内电子特种气体市场需求高于全球，所以电子特种气体是一个很大的市场，如何提高纯度是大家共同的挑战。

氟碳类气体用途介绍

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半导体FAB中常用的电子特种气体都有哪些呢？